内容简介：

本课程授课目的是使学生掌握微电子制造的各单项工艺技术，以及亚微米CMOS集成电路的工艺集成技术。本课程讲授微电子制造工艺各单项工艺的基本原理（包括氧化、扩散、离子注入、薄膜淀积、光刻、刻蚀、金属化工艺等），并介绍常用的工艺检测方法和MEMS加工技术、集成电路工艺集成技术和工艺技术的发展趋势等问题。另通过计算机试验，可学习氧化、扩散、离子注入等工艺设备的简单操作和模拟。

内容简介：

本门课程提供了学生动手制备微电子器件的机会，是微电子工艺课程的实验课程。通过本门课程的教学和实验，学生有机会学习MOSFET三极管、PN结二极管、霍尔器件、接触电阻、电容等测试器件的基本原理、工艺流程和测试方法。学生将有机会在超净间里面自己动手，操作各种工艺设备，最后将器件制备出来，并进行完整的电学测试。涉及工艺包括光刻、湿法刻蚀、干法刻蚀、氧化、LPCVD、PECVD、扩散、溅射等。

内容简介：

本课程从晶体管和基本功能单元的层面介绍数字集成电路设计的基本概念和技巧，引导学生从逻辑设计概念进入CMOS电路设计。具体内容包括：数字电路布尔逻辑；MOSFET电气特性；CMOS 反相器和逻辑门电子学分析（直流特性、开关特性、功耗等）；高速CMOS逻辑电路设计及CMOS 逻辑的高级技术；时序单元电路；加法器设计；CMOS集成电路物理结构、工艺流程和物理设计简介。

内容简介：

一、信号与系统的时域描述：1、连续时间和离散时间信号与系统的数学表示；2、连续时间与离散时间线性时不变系统的时域特性。 二、连续时间信号的频域分析：1、连续时间周期信号的傅里叶级数，包括定义、收敛要求和数学性质；2、连续时间非周期信号的傅里叶变换，包括定义、收敛、数学性质、卷积；3、连续时间信号的拉普拉斯变换，包括数学定义、收敛、数学性质，对线性时不变系统的分析，系统函数。 三、离散时间信号的频域分析：1、采样，包括采样定理、采用类型、重建与混叠等；2、周期与非周期离散时间信号的傅里叶变换，在线性时不变系统分析中的应用；3、z变换，包括数学描述、数学性质，离散系统的数学描述和系统函数分析。四、线性时不变系统分析：1、连续与离散线性时不变系统的频率响应分析；2、反馈与稳定性分析，包括线性反馈系统的数学定义和稳定性分析判据；3、常见电路与系统分析。

内容简介：

课程教学内容与国外著名大学的同类课程内容接轨，并根据清华大学学生所具有的电路基础和特点进行设置。本课程以集成放大器为主线，讲授模拟集成电路基本单元的分析和设计方法，使学生初步具有从事模拟集成电路分析和设计的能力，并培养学生初步的模拟集成电路设计经验。

内容简介：

本课程是微电子技术专业必修的一门专业主干课，是研究集成电路设计和微电子技术的基础课程。通过本课程的学习，掌握半导体物理基础、半导体器件基本原理和基本设计技能，为学习后续的集成电路原理、CMOS模拟集成电路设计等课程以及为从事与本专业有关的集成电路设计、制造等工作打下一定的基础。

内容简介：

课程内容由知识与技能培训（教学）、六个实验组成。知识与技能培训部分以讲课与练习为主，包括：基于FPGA和硬件描述语言的数字电路设计，基于印刷电路板的电路设计与制作。课程安排6个实验，为三个板块。板块一：数字集成电路的测试与应用，包括基本逻辑单元的测试（实验1）、基于基本逻辑单元的数字电路设计（实验2）、基于可编程逻辑的数字电路设计（实验3）；板块二：模拟集成电路的测试与应用，包括：运算放大器芯片的测试（实验4）、实用模拟电路设计（实验5）；板块三：较复杂数字、模拟混合系统的设计：血氧饱和计的设计实现（实验6）。

内容简介：

本课程讲述微处理器的内容如下：微处理器的现状，发展和组成；微处理器指令设计；微处理器的性能评测；微处理器的基本运算电路；微处理器结构设计及数据通路设计；控制单元状态机的硬件实现；流水线技术；存储管理与Cache设计；微处理器多核关键技术与最新进展。基于微电子所的EDA工具平台，进行实验，完成一个简单的5级流水线的微处理器的设计和验证，能够运行一段简单的累加程序。

内容简介：

本课程为微纳电子学系本科专业课程。通过课程学习，掌握纳电子学的基本概念、原理与方法，了解微电子向纳电子发展的学科前沿。主要教学内容包括纳米CMOS技术、共振隧道现象与器件、单电子器件、碳纳米管电子学、自旋电子学、超导电子学、分子电子学、纳电子机械系统、量子信息处理等方面的基本知识及前沿进展。

内容简介：

1）集成电路测试实验：数字集成电路测试（包括功能、最高工作频率各种直流参数测试）和A/D及D/A转换器测试（数、混合电路测试）；

2）计算机模拟实验：包括集成电路工艺模拟、器件模拟、Spice模型参数提取等；

3）半导体器件实验：测MOSFET的三类I-V特性以获取：阈值电压VT、衬偏调制系数（体因子）γ、亚阈值斜率、反型层载流子迁移率。

内容简介：

1）半导体物理实验：MOS高频C-V特性测量（计算二氧化硅中的固定电荷和可动电荷）和霍尔效应实验；

2）纳电子教学实验：量子点红外探测器实验。

内容简介：

大三夏季学期连续进行五周实习，实习内容必须是与学到的书本理论知识有联系的研究课题，课题范围不作规定，但实习题目必须属于技术开发和科学研究性质，要有一定的技术含量。

内容简介：

综合论文训练是本科生按照培养方案达到培养目标的重要环节，包括开题、中期、答辩三个阶段的考核。其中开题成绩占15%，中期成绩占25，答辩阶段占60%。该环节要求学生在教师指导下综合运用所学知识，完成一项课题研究或相应的综合训练任务，并独立完成一篇论文，作为学生的“学士学位论文”。

内容简介：

本课程以各类数字电路模块设计为主线，讲授数字集成电路和系统的设计方法。数字电路模块主要包括算术运算单元、存储器、时钟电路和接口等常用电路模块；数字集成系统设计方法主要包括数字电路实现策略、时序设计、低功耗设计、系统验证和可测性设计等主题。课程引入目前工业界广泛使用的设计方法、设计流程以及EDA设计工具并辅之以工程设计型作业和课程设计。

内容简介：

课程内容主要围绕四类实用模拟集成系统展开，分别是复杂运算放大器、模拟滤波器（连续时间与离散时间）、数据转换器（奈奎斯特速率与过采样）、电源转换器，侧重电路网络的数学原理和关键功能模块实现技术。

内容简介：

本课程是微电子技术专业限选课，半导体物理与器件（1）的后续课程，是微电子器件方向的基础课程。通过本课程的学习，可以掌握固体物理基础、深入掌握半导体物理和半导体器件最新理论，获取纳米尺度半导体器件的基本设计技能，为未来从事与微电子器件方向相关的工作或研发打下理论基础，也为后续学习其他先进半导体材料及半导体器件提供基础知识储备。

内容简介：

微系统是集成微传感器、微执行器、处理电路等的芯片集成系统，是微型化技术的前沿学科。本课程介绍微系统的基础理论、设计制造方法、重要发展方向和前沿领域，包括微制造技术、物理力学基础、微传感器、微执行器、RF-MEMS、光学微系统、芯片实验室、BioMEMS、PowerMEMS。

内容简介：

课程通过学生亲自完成超净间内的实验和制造过程，深入掌握微纳加工和MEMS制造的表面微加工技术和体微加工技术，灵活运用表面微加工技术和体微加工技术实现典型的压力传感器、悬臂梁传感器和热致动执行器等，通过将多项加工技术融合贯穿，使学生能够认知、掌握并运用微纳加工和MEMS制造技术。

内容简介：

本课程系统学习数字信号处理的基本理论（时域、频域分析理论、抽样定理、谱估计理论等）、基本知识和基本方法（包括离散时间信号与系统的数字化分析方法、滤波器设计方法、快速算法等），通过该课程的学习，使得学生牢固掌握离散时间信号的谱分析的原理及快速实现方法，借助于数字滤波器的设计及实现，掌握数字滤波系统的分析以及设计方法。

内容简介：

1、实验用数字信号处理软硬件平台介绍（DSP+ARM+FPGA+MATLAB+C）；2、离散时间信号和系统：序列产生，通过系统，时频域分析；3、连续时间信号的采样与重构：一维和二维信号的采样、重构及时频分析，超分辨率实例体验；4、IIR滤波器设计与分析；5、一维与二维FIR滤波器及其硬件设计与分析；6、离散傅里叶变换及其快速算法及其硬件实现，图像噪声分析及去噪滤波器设计，基于深度学习方法的去噪系统设计。其中有5项结合前沿技术的实验内容以学生动手设计与实现为主体，教师与其讨论使其具有一定程度的实用化。

内容简介：

通过本课程的学习，了解使用EDA工具进行电路设计的基本方法和EDA工具的基本原理和技术，掌握用来描述所设计的电路系统的硬件描述语言，掌握模拟验证、逻辑综合、高层次综合等基本原理和方法，了解验证、测试与诊断和版图布局布线的基本知识，为进一步学习和从事专业研究打下基础。

内容简介：

CMOS工艺流程介绍；集成元件的制造过程与元件构造；全定制设计流程介绍；设计输入与SPICE仿真；Verilog-A语言与行为级建模；版图编辑与验证；版图参数提取与后仿真；基于单元综合的设计流程介绍；Verilog硬件描述语言与可综合代码设计；仿真、综合与布局布线；基于单元的设计验证；课程设计项目训练。

内容简介：

这门课程通过实际电路设计的例子，使得同学们对模拟/数字通信系统有一定的认识。在现代通信集成电路芯片设计实践中，同学们可以从系统设计和电路实现两个层面得到提升。

内容简介：

课程主要介绍集成电路封装技术的基础知识，包含课堂讲授、实验、研讨和案例分析等环节。在课程讲授环节，首先介绍在集成电路封装技术中常用到的材料科学、力学等基础知识，为全课程做好准备；通过集成电路封装产业的介绍以及封装技术的概述，描述本课程的意义及主要的内容；课程之后按照互连方法、封装形式的分类，对不同的封装技术进行分析和介绍，着重讲授制造技术发展过程中的内涵与创新思维；通过对前沿封装技术的发展，进一步拓展创新思路；课程包含8学时的实验，分为4组，分别聚焦于封装结构分析、引线键合互连工艺学习、封装检测与分析方法、封装工艺实践，通过封装工艺实践加深对关键封装工艺的理解；课程结合实例，引导分析先进封装技术在集成电路产品中的应用。

内容简介：

工艺技术的发展持续推动集成电路产业的发展。本门课程将系统介绍在微电子工艺进入亚10纳米后的关键工艺模块，包括刻蚀，光刻等，将学习先进逻辑器件、主流存储器的工艺集成等先进微电子工艺。本门课程将安排去先进工艺线的实地实践，安排在国际领先设备上进行实际操作，以此来增强学生对于先进微电子工艺的理解。本门课程还包含了先进微电子工艺仿真软件的学习和实践环节，并在课程老师及企业导师的指导下完成先进微电子器件的设计及仿真项目。

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量子信息学是运用量子力学基本原理进行信息的编码、通信与处理的新兴交叉学科。《量子信息学引论》讲解量子信息科学的主要思想与方法，一方面提供所需的物理、数学、计算机科学的知识背景，另一方面使大家理解并掌握本领域的基本工具与结果。同时介绍量子信息学的一些最新进展。

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本课程的目的就是深入浅出地介绍量子信息科学领域的主要思想与方法。一方面提供理解量子信息学所需的物理、数学、计算机科学的知识背景，另一方面使大家理解并掌握本领域的基本工具与结果，并介绍量子信息处理的最新成果与应用。

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本课程面向全校电类各专业的学生，介绍各种集成传感器的原理和设计。内容包括传感器的材料、传感器设计原理、传感器集成方法、传感器信号的转化和驱动电路、智能和网络传感器的基本结构。介绍了压力、加速度等力学传感器、磁传感器、声学传感器、温度传感器、湿度传感器、气体和离子等化学传感器、生物传感器。重点是各种传感器的设计原理和集成方法，让学生掌握现代传感器的制作及其应用。

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微纳电子技术将涉及到各种新型材料、器件结构以及相关的工艺技术。如何评价材料或器件的性能，必须借助一定的分析表征手段。如：STM，AFM，MFM等。本课程将系统的介绍微电子和纳电子材料及器件的分析表征方法，比如：晶体结构分析方法（XRD等），表面形貌分析方法（SEM，TEM，AFM等），成分分析方法（AES，XPS，SIMS等），以及这些分析手段在微纳器件方面的应用，同时，还将介绍一些新型的微纳电子器件的分析测试技术。

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“专业英语”课程是面向本科高年级学生开设的一门旨在提高学生在微电子与集成电路专业领域英语阅读、翻译及写作水平的任选课程。根据微电子学专业的具体要求，本课程选用最新英文原版教科书的相关章节和有关的英语读物做教材，其中包括最新的英文研究论文，并辅以相关的音像资料，力求使学生在微电子学专业英语的听说读写译等方面有所提高。

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课程是为bat365官网登录入口、自动化系、电子工程系、精仪系、物理系等理工科院系的本科生开设的，面向对纳米科学技术感兴趣的同学。在本课程中，我们将讲授纳米科技的前沿进展，例如量子信息学、纳米电子学、量子控制等；实验技术基础，包括真空技术、低温技术、超精细加工和量子反馈控制等；还将带学生在一线科研实验室中现场授课，讲授实验技术与设备原理。

内容简介：

以石墨烯为代表的二维纳米材料的发现、结构、性质及表征方法；石墨烯等二维纳米材料的制备方法；石墨烯等二维纳电子材料和器件在微电子与集成电路技术、光电技术、新能源、生物医学、环境技术、智能传感等领域的研究和应用。

内容简介：

本课程为电子学与电路的入门课程， 主要内容包括电路原理和电子电路两部分，电路原理部分包括电路基础、电路分析方法、正弦稳态电路、动态电路等内容。电子电路部分包括集成电路简介、运算放大器与应用电路、反馈电路、AD与DA转换器等内容。通过本课程的学习，使学生建立电路的基本概念、掌握电路的基本理论和电路分析能力以及电路基本分析方法、掌握基本常见模块电路、初步掌握EDA工具的使用，并初步设计工程实践。为后续课程准备必要的电路知识。

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晶体管是集成电路的核心、信息社会的基础，对社会进步起着重要作用，其发明是二十世纪最重要的科技进步。本课程以晶体管发明时发生的重大事件为主线，探讨科学研究的规律。讨论内容包括科学预见和选题、科研方法与政策等。

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作为量子力学和信息学的交叉，量子信息学是最近二十多年迅速发展起来的新兴学科，量子信息处理技术能够完成许多经典信息技术无法实现的任务。比如，一旦基于量子信息学的量子计算机得以实现，其在几分钟内就可解决数字计算机几千年才能解决的问题，那么用它就可及时地破解基于某些数学问题复杂性假定之上的传统保密通信的密钥，从而对建立于经典保密系统行业的信息安全构成根本性的威胁。这种新兴技术的实现可以直接地应用于国防、政治、经济和日常生活。本课程在此大的学术背景下展开，主要介绍最有希望成为量子比特的固体量子相干器件的原理和目前的研究状况，以及如何用这些器件实现量子计算。

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本课程将学习量子信息处理的基本原理；超导材料的基本特性以及利用超导器件实现量子信息处理的原理与方法。通过文献调研和小组讨论等方式了解利用超导器件实现量子信息处理的最新进展和面临的挑战，探讨可能的解决方案。

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本课程基于微纳米加工技术和能源新材料，从锂电池的发明和大规模应用开始，介绍当今微能源（PowerMEMS）科学与技术的前沿研究。通过教师的课堂讲授、教师指导下的读书（论文）、读书报告、课堂组织讨论及书面总结等环节，使学生了解当前各种微型能源器件的物理化学概念，设计和制造方法，及其应用。同时，锻炼学生读书、思考、口头报告、书面报告及科技论文写作的能力。

内容简介：

课程主要内容包括微纳制造技术、基础集成电路技术、微型智能传感器技术、无线传感器与网络技术、大数据分析、物联网及应用等内容。课程采用讲授、自学、讨论相结合的方式，学习相关领域的基础知识、概念和问题的思考方法，在此基础上，以智能感知为手段，通过实践环节设计完成手术机器人定位、智能交通、手机计步等实际问题。

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纳米技术对人类生活带来巨大的变化，本课程深度融合了纳米技术在现实生活的实例，采用生动的故事，以图片、视频等多媒体方式，展现纳米技术的发展历史，向具有不同专业背景的学生深入浅出地讲述纳米技术在现实生活中的应用。启发同学开展研究的方法，认识到科学技术是人类获得进步的重要因素。

内容简介：

课程内容包括机械计算模式、集成电路技术、量子计算技术、微纳制造技术等内容，按照从低级到高级的信息技术发展历程讲授，同时安排设计、实验环节，分别用基于科学史系科研成果的机械计算教具进行机械计算机的搭建、用集成电路进行电子计算机的搭建、还会到一线科研实验室实地参与量子计算机的使用，亲身体验未来的发展趋势，有体感地理解不同层次的物理系统用作信息技术的巨大差别。

内容简介：

本课程以智能传感器作为切入点，介绍现代智能信息社会中智能传感器在军事、产业与环境、交通、体育与娱乐、以及生物医疗等各行各业的应用，探讨智能传感技术对现代生活的影响。通过课程学习，同学将理解运动传感器、温度传感器、气体传感器、磁传感器、图像传感器、生化传感器等多种智能传感技术背后丰富的科学原理，以及相应领域的前沿发展状况，并基于应用系统网络化和智能化的发展趋势，将涉及的知识范围延伸到集成电路、物联网、和人工智能等相关领域。同学通过多次小组讨论，深入进行需求牵引的逻辑思考，学习解决实际问题的思维方法。