课程通过学生亲自完成超净间内的实验和制造过程，深入掌握微纳加工和MEMS制造的表面微加工技术和体微加工技术，灵活运用表面微加工技术和体微加工技术实现典型的压力传感器、悬臂梁传感器和热致动执行器等，通过将多项加工技术融合贯穿，使学生能够认知、掌握并运用微纳加工和MEMS制造技术。
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