紧密围绕国家重大需求和集成电路行业关键问题，结合集成电路科学与工程一级学科的特点和发展趋势，设置集成纳电子科学、集成电路设计与设计自动化和集成电路制造工程三个二级学科，拟重点发展纳电子科学、集成电路设计方法学及EDA、集成电路设计与应用、集成电路器件与制造工艺、封装与系统集成、MEMS与微系统、集成电路专用装备和集成电路专用材料等学科方向，完整覆盖集成电路全产业链。
集成电路学科以物理、化学、材料科学等学科为基础，涉及电子信息、仪器科学与技术、电气工程和机械工程等相关工程学科的深度交叉融合，具备深厚的理论背景和鲜明的工程特点。完备的学科配置是清华大学开展集成电路学科建设的关键，多个优势学科的支持是清华大学做好集成电路学科建设的保障。
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