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微纳电子材料器件分析技术

发布时间:2024-02-28 点击数:

微纳电子技术将涉及到各种新型材料、器件结构以及相关的工艺技术。如何评价材料或器件的性能,必须借助一定的分析表征手段。如:STM,AFM,MFM等。本课程将系统的介绍微电子和纳电子材料及器件的分析表征方法,比如:晶体结构分析方法(XRD等),表面形貌分析方法(SEM,TEM,AFM等),成分分析方法(AES,XPS,SIMS等),以及这些分析手段在微纳器件方面的应用,同时,还将介绍一些新型的微纳电子器件的分析测试技术。