微纳电子技术将涉及到各种新型材料、器件结构以及相关的工艺技术。如何评价材料或器件的性能，必须借助一定的分析表征手段。如：STM，AFM，MFM等。本课程将系统的介绍微电子和纳电子材料及器件的分析表征方法，比如：晶体结构分析方法（XRD等），表面形貌分析方法（SEM，TEM，AFM等），成分分析方法（AES，XPS，SIMS等），以及这些分析手段在微纳器件方面的应用，同时，还将介绍一些新型的微纳电子器件的分析测试技术。
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