《微机电系统MEMS设计与制造》是一门国际化课程，由清华大学、香港科技大学和日本京都大学联合开课，互动双语教学。在讲授MEMS与微系统设计与加工的基础上，引入国际前沿研究内容；同时，三校学生联合分组，进行典型MEMS器件的设计、仿真、流片、测试分析和总结答辩。学生在MEMS设计、建模、有限元仿真、微纳加工和芯片测试等方面的能力将有实质性锻炼与提高。
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