本课程面向微电子技术未来发展的需求，结合微系统（MEMS）技术的基础理论、典型器件和发展趋势，重点讲述微系统基本理论、微纳制造技术、MEMS技术、微型传感器技术、系统集成技术和方法等内容。本课程强调设计与制造相结合、基础与前沿相结合，通过基础知识、前沿发展和典型集成微系统作为牵引，学习集成微系统的设计与实现技术，培养分析解决多学科交叉问题的能力。
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