本课程主要讲授最新的半导体存储器技术,以器件和工艺技术为主,也涉及电路与系统的前沿技术。课程内容按照存储器的种类分别讲述,包括主流的SRAM、DRAM、Flash和各种新型存储器,每章内容除了器件原理以外,还涉及平面和三维工艺,以及工艺和系统的协同优化。
下一条:微机电系统MEMS设计与制造