本课程定位于研究生实验课，介绍先进微电子器件全流程。本课程覆盖微纳器件所涉及到的仿真设计、版图绘制、工艺流片和测试全流程，将以FinFET作为典型的案例进行全流程教学，依托微电子所工艺平台，完成FinFET的仿真、制备和测试。所涉及的工艺流程包括：Sentaurs软件对FinFET的仿真；设计器件的版图；光刻; 刻蚀；溅射；原子沉积（ALD）；B1500电学测试等。学生有机会亲自动手完成这些工艺，将为以后的科研提供很大的帮助。
上一条：环境科学中的微纳电子技术
下一条：智能机器人设计与实践
清华主页
